苏州森辉半导体瞄准世界微纳加工领域技术前沿，致力于成为科研与产业的连接中心，以基础性、前瞻性、特色性的原创成果和优质资源支持产业界解决关键工艺难题，寻求关键节点技术突破。

　　森辉半导体合作实验室建设有9000m²的洁净室，其中百级洁净室面积6000m²，每立方米空气中粒径大于等于0.3微米的粒子数量不超过100颗。
　　恒温恒湿:温度偏差不超过0.5度，湿度偏差不超过5%;
　　防震:防微震等级VC-D，水平与垂直震动小于7.5微米/秒;
　　纯度保障:洁净室使用高纯管线，生产材料纯度达到5N以上。

　　实验室拥有各类设备超过250台/套，拥有4/6/8 inch工艺线，包括6/8 inch SiC & GaN、4/6 inch lnP & GaAs器件工艺线，及布局第四代半导体材料的工艺能力。
　　高自动化:工业级设备配置，工艺过程全自动控制;
　　高兼容性:4/6/8 inch工艺平台全兼容，第三代半导体材料设备全覆盖，可扩展第四代半导体设备能力;
　　高配置:主设备供应商均为国际Top级，国产优秀设备提前布局，对标国际一线Fab设备配置。