光刻工艺是半导体器件制造工艺中最频繁、最关键的工艺之一。

　　光刻工艺利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构，然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在衬底(衬底wafer，金属层、介质层等)上。根据曝光方式可分为接触式、接近式和投影式，根据光刻面数的不同有单面对准光刻和双面对准光刻，根据光刻胶类型不同，有薄胶光刻和厚胶光刻。

　　一般的光刻流程包括前处理、匀胶、前烘、对准曝光、显影、后烘，可以根据实际情况调整流程中的操作。

　　九峰山实验室光刻工艺设备