森辉半导体实验室拥有先进的化合物半导体设备，可以提供化合物半导体外延及器件的成套工艺与技术解决方案，同时可提供小批量流片(tape-out)一站式服务。 　　实验室拥有完整的工艺平台，可对外提供工艺开发服务包括：化合物外延平台、功率及无线通信器件平台、MEMS器件平台、化合物异质集成平台、先进封装TSV平台等。 　　

8寸：硅基化合物、化合物压电MEMS、GaN-on-Si器件

　　

6寸：SiC器件、GaN-on-SiC器件、GaN-on-Si器件、GaAs器件、SAW/BAW器件

　　

4寸：InP器件、金刚石器件